`

СПЕЦІАЛЬНІ
ПАРТНЕРИ
ПРОЕКТУ

Чи використовує ваша компанія ChatGPT в роботі?

BEST CIO

Определение наиболее профессиональных ИТ-управленцев, лидеров и экспертов в своих отраслях

Человек года

Кто внес наибольший вклад в развитие украинского ИТ-рынка.

Продукт года

Награды «Продукт года» еженедельника «Компьютерное обозрение» за наиболее выдающиеся ИТ-товары

 

Ученые NIST улучшили разрешение оптического микроскопа в 30 раз

0 
 
Ученые NIST улучшили разрешение оптического микроскопа в 30 раз

Скомбинировав в новом микроскопе стандартную оптику с методом визуализации поля рассеяния, коллектив Национального института стандартов и технологий (NIST) смог с высокой точностью измерить детали кремниевой пластины, которые были в 30 раз меньше длины волны используемого света (450 нм).

«Этот рассеянный свет традиционно игнорировался, поскольку он не давал достаточного разрешения, — объясняет Ричард Сильвер (Richard Silver), главный инициатор этого исследования NIST. — Теперь мы знаем, что он содержит полезную информацию, указывающую на то, откуда этот свет поступает».

Сильвер и его коллеги методически освещали образец поляризованным светом под разными углами. Из полученной картины рассеяния команда NIST извлекала характеристики световых волн, на основании которых, с помощью созданных ею программ волнового анализа, реконструировала детали геометрии образца.

Для линий, нанесённых на заготовку производства SEMATECH, толщина (до 16 нм) была определена новым методом с точностью до одного нанометра. При этом, регистрировались расхождения в деталях, составлявшие всего несколько атомов.

Точность оптических экспериментов подтверждалась контрольными измерениями на атомно-силовом микроскопе, обеспечивающем субнанометровое разрешение. В отличие от электронной микроскопии, оптический метод сочетает высокую разрешающую способность с быстродействием, требующимся для задач неразрушающего контроля качества современного нанопроизводства.

В дальнейшем, исследователи планируют распространить свою технику на более короткие, ультрафиолетовые волны, длиной до 193 нм. Это позволит улучшишь разрешение метода вдвое и применить его для точного измерения размеров, формы и расположения деталей габаритами до 5 нм.

Ready, set, buy! Посібник для початківців - як придбати Copilot для Microsoft 365

0 
 

Напечатать Отправить другу

Читайте также

 

Ukraine

 

  •  Home  •  Ринок  •  IТ-директор  •  CloudComputing  •  Hard  •  Soft  •  Мережі  •  Безпека  •  Наука  •  IoT