0 |
Скомбинировав в новом микроскопе стандартную оптику с методом визуализации поля рассеяния, коллектив Национального института стандартов и технологий (NIST) смог с высокой точностью измерить детали кремниевой пластины, которые были в 30 раз меньше длины волны используемого света (450 нм).
«Этот рассеянный свет традиционно игнорировался, поскольку он не давал достаточного разрешения, — объясняет Ричард Сильвер (Richard Silver), главный инициатор этого исследования NIST. — Теперь мы знаем, что он содержит полезную информацию, указывающую на то, откуда этот свет поступает».
Сильвер и его коллеги методически освещали образец поляризованным светом под разными углами. Из полученной картины рассеяния команда NIST извлекала характеристики световых волн, на основании которых, с помощью созданных ею программ волнового анализа, реконструировала детали геометрии образца.
Для линий, нанесённых на заготовку производства SEMATECH, толщина (до 16 нм) была определена новым методом с точностью до одного нанометра. При этом, регистрировались расхождения в деталях, составлявшие всего несколько атомов.
Точность оптических экспериментов подтверждалась контрольными измерениями на атомно-силовом микроскопе, обеспечивающем субнанометровое разрешение. В отличие от электронной микроскопии, оптический метод сочетает высокую разрешающую способность с быстродействием, требующимся для задач неразрушающего контроля качества современного нанопроизводства.
В дальнейшем, исследователи планируют распространить свою технику на более короткие, ультрафиолетовые волны, длиной до 193 нм. Это позволит улучшишь разрешение метода вдвое и применить его для точного измерения размеров, формы и расположения деталей габаритами до 5 нм.
Ready, set, buy! Посібник для початківців - як придбати Copilot для Microsoft 365
0 |