
Производственная технология, разработанная группой финских, датских и американских учёных комбинирует традиционную литографию с программируемым складыванием ДНК и позволяет с высокой точностью изготовлять металлические наноструктуры (плазмонные антенны) с заданными оптическими свойствами для всевозможных приложений.
Суть метода DALI (DNA-assisted LIthography) заключается в том, что если структуры ДНК осаждены на чипе, покрытом кремнием, оксид кремния может выращиваться только на оставшихся незакрытыми участках подложки. Полученный таким образом слой оксида кремния с отверстиями можно использовать в качестве маски для литографии. После испарения металла через отверстия, снятия маски и удаления кремния остаются только нужные металлические структуры на прозрачной, например, сапфировой, подложке.
DALI, описанный в статье для Science Advances, удобен для внедрения в масштабах производства и отличается высокой степенью параллелизма. «Мы показали как использовать эти точные формы (фигуры «оригами» из сложенных молекул ДНК) в качестве трафаретов для создания миллионов цельнометаллических наноструктур с 10-нанометровыми деталями за один проход», — заявил Вейкко Линко (Veikko Linko), адъюнкт-профессор Университета Аалто (Финляндия).