| 0 |
|
Исследователи из компании NXP Semiconductors объявили, что ими создана демонстрационная модель масштабируемого пьезорезистивного MEMS-резонатора, построенного на кремнии и работающего с частотой 1,1 ГГц.
Команда разработала оригинальную схему трансдуктора (магнитного усилителя), в которой электростатическое поле возбуждает кремниевый резонатор, что приводит к механическим движениям, обусловленными пьезорезистивными свойствами кремния.
Характерной особенностью схемы трансдуктора является низкий эффективный импеданс, что влечет нечувствительность к геометрическим размерам. Это позволяет добиться высокой степени миниатюризации MEMS-резонаторов без существенной потери производительности. Согласно сообщению группы, эффективный импеданс на резонансной частоте по величине на порядок меньше, чем при использовании общераспространенных емкостных или полевых резонаторов.
По мнению разработчиков, интеграция таких MEMS-резонаторов с чипами открывает исключительные возможности для создания миниатюрных точных колебательных контуров и фильтров для беспроводных коммуникаций.
Следует заметить, что MEMS-резонаторы с такой частотой демонстрировались и раньше, однако при сравнимых размерах они имели крайне высокий импеданс. Как результат, уровни сигналов на резонансных частотах были чрезвычайно низки. Применялось несколько подходов для снижения импеданса кремниевых MEMS-резонаторов. Они включали уменьшение ширины и форматного соотношения (aspect ratio) зазора, заполнение его материалами с высокой диэлектрической проницаемостью или использование пьезоэлектрического преобразования взамен емкостного. К сожалению, все эти методы оказались неэффективными при дальнейшем уменьшении размеров резонаторов. Более того, они увеличивали сложность изготовления приборов и ухудшали совместимость со стандартными КМОП-технологиями.
Ready, set, buy! Посібник для початківців - як придбати Copilot для Microsoft 365
| 0 |
|
