Предложен новый способ формирования чипов — из нано-стержней

2 сентябрь, 2011 - 12:35

Производство транзисторов и компьютерных чипов, оптических микросхем и чипов связи, микромеханических систем биодатчиков сейчас производится с помощью литографии, возможности которой ограничены длиной световой волны, используемой в производстве. Миниатюризация подобных устройств требует новых технологий производства, и специалисты Массачусетского Технологического Института предложили способ формирования полупроводниковых чипов, который позволяет создавать структуры с физическими размерами около 10 нм, т.е. около 30 атомов.

При этом разработчики использовали хорошо известные методы позиционирования на пластике или интерфейсе чипа тонких стержней в точно определенном месте и с точно заданной ориентацией — таким образом на поверхности чипа создавалась сложная структура.

Предложен новый способ формирования чипов — из нано-стержней
Управление процессом слияния нано-стержней дает возможность построить на кремниевой подложке структуры самых причудливых форм

По иронии судьбы, этот метод был найден случайно, когда ученые пытались предотвратить изгибание сверхмалых наностержней. Как отмечает руководитель проекта Карл Бергген (Karl Berggren), адъюнкт-профессор отделения электроинженерии и компьютерных наук, при уменьшении размеров наностержни до 10 нм и менее, они перестают вести себя как твердое тело, их концы начинают заворачиваться. Оказалось, что именно это свойство дает возможность формировать из них шаблоны практически любого вида.

В двух опубликованных ранее в Nano Letters работах К.Бергген совместно с Хугао Дуаном (Huigao Duan) студентом Университета Ланьчжоу (Китай) показали, что если разместить рядом наностержни размером менее 10 нм, они изгибаются навстречу друг другу. В работе, которая будет опубликована в журнале Small 5 сентября 2011 г. К.Бергген, Х.Дуан и аспирант МТИ Джоэль Янг (Joel Yang) показали, что изгибанием наностержней можно управлять (если немного распрямить один конец наностержня, другой его конец будет сгибаться в противоположном направлении), формируя нужные структуры на поверхности подложки. Правда, что вызывает эффект изгибания, ученым понять так и не удалось.