Предложен новый способ формирования чипов — из нано-стержней
2 сентябрь, 2011 - 12:35
Производство транзисторов и компьютерных чипов, оптических микросхем и чипов связи, микромеханических систем биодатчиков сейчас производится с помощью литографии, возможности которой ограничены длиной световой волны, используемой в производстве. Миниатюризация подобных устройств требует новых технологий производства, и специалисты Массачусетского Технологического Института предложили способ формирования полупроводниковых чипов, который позволяет создавать структуры с физическими размерами около 10 нм, т.е. около 30 атомов.
При этом разработчики использовали хорошо известные методы позиционирования на пластике или интерфейсе чипа тонких стержней в точно определенном месте и с точно заданной ориентацией — таким образом на поверхности чипа создавалась сложная структура.
|
Управление процессом слияния нано-стержней дает возможность построить на кремниевой подложке структуры самых причудливых форм |
По иронии судьбы, этот метод был найден случайно, когда ученые пытались предотвратить изгибание сверхмалых наностержней. Как отмечает руководитель проекта Карл Бергген (Karl Berggren), адъюнкт-профессор отделения электроинженерии и компьютерных наук, при уменьшении размеров наностержни до 10 нм и менее, они перестают вести себя как твердое тело, их концы начинают заворачиваться. Оказалось, что именно это свойство дает возможность формировать из них шаблоны практически любого вида.
В двух опубликованных ранее в Nano Letters работах К.Бергген совместно с Хугао Дуаном (Huigao Duan) студентом Университета Ланьчжоу (Китай) показали, что если разместить рядом наностержни размером менее 10 нм, они изгибаются навстречу друг другу. В работе, которая будет опубликована в журнале Small 5 сентября 2011 г. К.Бергген, Х.Дуан и аспирант МТИ Джоэль Янг (Joel Yang) показали, что изгибанием наностержней можно управлять (если немного распрямить один конец наностержня, другой его конец будет сгибаться в противоположном направлении), формируя нужные структуры на поверхности подложки. Правда, что вызывает эффект изгибания, ученым понять так и не удалось.