+11 голос |
Наноинженеры Калифорнийского университета Сан-Диего (UC San Diego) создали принципиально новый метод литографии, в котором сложные структуры на светочувствительном материале (фоторезисте) формируются мельчайшими роботами или наномоторами, движущимися по поверхности заготовки. Эта технология, представленная в недавнем выпуске Nature Communications, предлагается в качестве недорогой альтернативы современным сложным методикам нанопроизводства компонентов микроэлектроники, таким как электронная литография.
Команда UC San Diego разработала две разновидности нанороботов: сферический бот из кремния, фокусирующий свет подобно линзе ближнего поля, и устройство в виде металлического стержня, блокирующие свет. Оба устройства приводятся в движение каталитическом распадом топлива — раствора перекиси водорода, и управляются магнитным полем.
При освещении фоторезиста ультрафиолетом, сферические роботы усиливают свет, перемещаясь вдоль контуров будущих канавок, а стержневые роботы затеняют те участки, где формируются выступы.
«Все, что требуется, это самодвижущиеся нанороботы и ультрафиолет, — подчеркивает первый автор статьи, Джиньсин Ли (Jinxing Li). — Они работают вместе и легко управляются простым магнитом».
Ли оговаривает, что новый метод, по обеспечиваемому разрешению не может конкурировать с наиболее совершенными современными технологиями литографии, однако многократно превосходит менее продвинутые системы как по себестоимости продукции, так и по простоте реализации в условиях массового производства.
Было также продемонстрировано, как несколько наномоторов, работая синхронно, могут создавать рисунки на параллельных плоскостях — задача, которую нельзя осуществить методами электроннолучевой литографии.
Ready, set, buy! Посібник для початківців - як придбати Copilot для Microsoft 365
+11 голос |