Китай розпочав серійне виробництво власних DUV-літографів для виготовлення чипів

Як інформує Reuters, Китай розпочав серійне виробництво власних імерсійних літографічних машин глибокого ультрафіолету (DUV), які є критично важливими для виготовлення сучасних напівпровідників. Цей крок є ключовим етапом реалізації державної програми Пекіна щодо зменшення залежності від іноземних технологій.

 

Виробничий процес очолила маловідома державна компанія Shanghai Aishengna Electronic Technology Group, яка об'єднала команди інженерів із провідних китайських стартапів з виробництва літографічних апаратів. За даними корпоративних реєстрів, Aishengna була заснована у серпні 2023 року зі статутним капіталом у 7 млрд юанів (близько 1 млрд дол.) за підтримки державних структур Shanghai Electric Holding та філії Shanghai International Trust. До структури компанії увійшли фахівці з підприємств SMEE та Yuliangsheng, останнє пов'язане з виробництвом обладнанням для Huawei.

 

Повідомляється, що цього року компанія планує виготовити близько п'яти установок, а у 2027 році розширити випуск до 20 одиниць. Нові DUV-машини отримають провідні китайські виробники мікросхем, серед яких Semiconductor Manufacturing International Corp (SMIC), Hua Hong Semiconductor та виготовлювач чипів пам'яті ChangXin Memory Technologies (CXMT). 

 

Хоча обладнання Aishengna потребує додаткового тестування і поки поступається за характеристиками продукції нідерландського виробника ASML, воно дасть китайським фабрикам резервну альтернативу у разі посилення західних обмежень на обслуговування.

 

Технологія імерсійної DUV-літографії використовує шар води між лінзою та кремнієвою пластиною, що дозволяє формувати дрібніші елементи мікросхем порівняно із традиційними системами з повітрям. За допомогою методів багаторазового фокусування ці установки можуть застосовуватися і для випуску передових напівпровідників. 

 

Акції ASML, яка є лідером світового ринку літографії, на тлі цих новин зазнали падіння на понад 8%, однак офіційних коментарів щодо запуску китайського виробництва поки не надала.

 

У короткостроковій перспективі обладнання Aishengna не зможе повністю замінити високоточні системи ASML через нижчий відсоток виходу придатних чипів та потребу у тривалому калібруванні. Втім, наявність серійного свого інструменту гарантує китайським фабрикам мінімальну технологічну стійкість та дозволить продовжувати масовий випуск напівпровідників для внутрішнього ринку навіть за умов повної ізоляції від західних сервісних послуг.