| 0 |
|
Як повідомляється, вперше на заводі Intel Fab 34 в Ірландії запрацював сканер з наджорстким ультрафіолетовим випромінюванням (EUV), що використовує лазер з довжиною хвилі 13,5 нанометра.
На початку цього року виробник отримав свою першу систему літографії EUV на Fab 34, яка є ключовим фактором, що забезпечує технологічний процес Intel 4 (відповідає загальним нормам 7 нм). Рішення, що виготовлено голландською ASML, є, мабуть, найскладнішим механізмом, який коли-небудь створювали люди, як вказує Intel. Місцеві команди працювали над її встановленням і на тому тижні досягли важливого моменту, коли сканер EUV вперше в Ірландії згенерував необхідне випрямінювання.
Система EUV складається з 100 000 деталей, 3 000 кабелів, 40 000 болтів і більше милі різноманітних шлангів. На підготовку будівлі Fab 34 до запуску процессу використання машини пішло 18 місяців проектування і будівництва. Після прибуття в Лейксліп шлях до отримання першого результату був неймовірно складним і залежав від складного узгодження багатьох факторів. Від створення самого сканера до кваліфікації систем об'єкта і підключення до інженерних мереж - для досягнення цієї мети знадобилися величезні спільні командні зусилля.
Хоча літографічні сканери були невідійманою частиною виробництва мікросхем протягом багатьох років, EUV-системи можуть друкувати схеми менше і точніше, ніж будь-що, що було до цього.
З повідомлення слідує, що системи для підтримки EUV-сканера починаються на підвальному рівні фабрики, де розташовані помпи для створення вакуумного середовища і радіочастотні шафи управління для подачі живлення на лазер. У підсобному приміщенні, яке розташоване безпосередньо під так званою чистою кімнатою, встановлено потужний лазер на 25 кВт, який генерує світло з частотою 50 кГц, а також набір шаф управління та очищення. Це лазерне світло подається вгору через оптичну систему транспортування.
До цієї віхи Intel йшла багато років. Планування, підготовка та точність, необхідні для забезпечення літографії EUV у великих обсягах виробництва, не мають собі рівних. Технологічні інновації та підхід до EUV з технологічним процесом Intel 4 дозволяють компанії дотримуватися графіка поставок п'яти вузлів за чотири роки та виконати своє зобов'язання відновити лідерство в технологічному процесі до 2025 року.
Понад 100 співробітників ASML підтримують створення та налаштування системи разом з командами підрядників, інженерами та технічними спеціалістами Intel.
Ready, set, buy! Посібник для початківців - як придбати Copilot для Microsoft 365
| 0 |
|
