Плоские металинзы сделали движущимися

Пионер технологий металинз, Федерико Капассо (Federico Capasso) из Гарвардского университета и руководитель группы нанопроизводства Аргоннской Национальной Лаборатории, Даниэль Лопес (Daniel Lopez), объединив усилия смогли значительно расширить возможности так называемых плоских объективов, сделав их динамическими.

Метаповерхность для ИК-диапазона была сформирована стандартным методом фотолитографии на пластине SOI (silicon-on-insulator) с 2-микронным верхним слоем устройства, 200-микронным оксидным слоем и 600-микронной подложкой. Затем, металинзы поместили на MEMS-массив микрозеркал, обычно используемый для высокоскоростной модуляции оптического луча, и зафиксировали на месте миниатюрными платиновыми накладками.

«Плотная интеграция тысяч индивидуально управляемых устройств «объектив на MEMS» на один кремниевый чип позволяет реализовать беспрецедентную степень контроля и манипулирования оптическим полем», — пишет Лопес в статье, опубликованной журналом APL Photonics.

Под действием электростатического поля созданный прототип позволяет осуществлять сканирование по двум ортогональным осям с отклонением точки фокуса плоских линз на 9° в каждом направлении. Эффективность фокусировки оценивается авторами в 85%.

Такие MEMS-металинзы, выпускаемые в массовых масштабах, по мнению Капассо, могут заменить обычные объективы рефракторного типа во многих приложениях, включая сканирующие микроскопы, лазерные принтеры, проекторы и лидары.