30 октября 2012 г., 17:25
Микроэлектромеханические системы (MEMS), состоящие из деталей, габаритами в миллионные доли метра, сегодня, как правило, делают из материалов на основе кремния, привычных для микроэлектронной индустрии. Экспериментируя с другими, менее традиционными материалами, команда из Brigham Young University (BYU) в г.