| Процессор | Pentium III-M | Pentium 4-M | Pentium M |
| Число транзисторов, млн. | 28,1 | 55 | 77 |
| Технологический процесс, мкм | 0,18 | 0,13 | 0,13 |
| Объем L1-кэша (инструкции/данные) | 16/16 KB | 12 K (операций)/8 KB | 32/32 KB |
| Объем L2-кэша | 512 KB | 512 KB | 1 MB |
| Частота системной шины, MHz | 133 | 400 | 400 |
| Диапазон тактовых частот | 650 MHz -- 1,33 Ghz 600 MHz --1 GHz (Low Voltage) 500--866 MHz (Ultra Low Voltage) | 1,40--2,50 GHz | 1,30--1,60 GHz 1,10 GHz (Low Voltage) 900 MHz (Ultra Low Voltage) |
| Напряжение питания, В | 1,4 | 1,3 | 0,85--1,5 |
| Поддержка управления питанием шины | - | - | + |
| Наличие выделенного диспетчера стеков | - | - | + |
| Технология наслоения микроопераций | - | - | + |
| Поддержка Intel Mobile Voltage Positioning (MVP IV) | - | - | + |