Новый метод производства наименьших структур в электронике

20 март, 2013 - 14:07Леонід Бараш

Полностью новый метод производства минимальных структур в электронике может привести к тысячекратному ускорению и удешевлению получения полупроводников.

Вместо того чтобы начинать с кремниевых пластин или других подложек, как это делается сегодня, исследователи сделали возможным получение структур посредством их выращивания из свободно взвешенных в потоке газа наночастиц золота. Предполагается, что технология может стать коммерческой в течение двух—четырех лет.

«Когда я впервые предложил идею освободиться от подложки, окружающие говорили, что я не в своем уме, - сказал Ларс Самуэльсон (Lars Samuelson), проф. физики полупроводников из Университета Лунда (Швеция). – Когда мы проверяли принципы в одной из наших печей при 400°C, результаты превзошли все наши мечты. Основная идея заключалась в том, чтобы наночастицы золота служили в качестве подложки, из которой выращивают полупроводники».

Процесс оказался не только крайне быстрым, но также и непрерывным. В данное время исследователи стараются разработать улучшенные методы захвата нанопроволок и их самосборки упорядоченным способом на специфической поверхности. Ею может быть стекло, сталь или другой подходящий для этих целей материал.

Ученые из Лунда имели некоторое преимущество на старте благодаря проводимым параллельно исследованиям, основанным на инновационном методе производства нанопроволок на полупроводниковых пластинках, известном как эпитаксия. Неудивительно, что они назвали свой новый метод аэротаксия (aerotaxy). Взамен «скульптурного ваяния» структур из кремния или другого полупроводникового материала структуры создаются с помощью управляемых самоорганизующихся атомных слоев.

Новый метод производства наименьших структур в электронике

Производственный процесс аэротаксии