Applied Materials развернула сервис для обработки «больших данных»

В производстве полупроводников метрология — жизненно важная часть процесса. По большей части анализ производится на оборудовании CDSEM (Critical Dimension Scanning Electron Microscopy), и, с ростом сложности технологии производства, объем данных, собираемых с одной пластины, растет. Естественно, этот объем информации нужно обрабатывать: проводит быстрый анализ и сравнение с другими фрагментами. Для выполнения этих операций Applied Materials запустила службу TechEdge Prizm.

Если при производстве по 45-нм технологии в течение года на одной производственной с пластин считывалось 50 ТБ данных, то с переходом на 28-нм технологию, их объем вырос до 80 ТБ, а после перехода на 14-нм техпроцесс, достигнет 141 ТБ. Долгое время для сбора данных и сравнения результатов разных периодов не было унифицированной системы. Теперь не придется собирать данные разных утилит — TechEdge Prizm самостоятельно соберет данные из разных источников, представит их в стандартном интерфейсе, что позволит выполнять анализ быстрее, просматривать разные метрики отдельных секторов, их изменение во времени, пр.

По оценке Applied Materials, сервис Prizm может повысить производительность в десятки раз, и избавить инженеров от многих часов рутинной работы по сбору данных вручную. Онлайновое хранилище также позволит дольше хранить наборы данных, в некоторых случаях до 7 лет.