Микроэлектромеханические системы и ИТ

По мнению многих экспертов, одни из самых радужных перспектив, какие только можно увидеть в «кремниевых долинах» мира, связаны сегодня с MEMS (MicroElectroMechanical Systems). Эта аббревиатура применяется для обозначения крохотных механизмов, преобразующих электрическую энергию в движение (и/или наоборот). Увы, никаких более внятных обобщающих описаний у этой весьма разнообразной группы технологий не имеется, и потому для дальнейшего знакомства с ними нам придется перейти к рассмотрению конкретных примеров их реализации.

Прежде чем мы приступим непосредственно к теме статьи, необходимо сделать следующее короткое, но важное заявление, а именно:

MEMS – не анахронизм!

Разработчики MEMS-технологий обожают иллюстрировать свои PR-материалы изображениями микроскопических насекомых. Вероятно, эта тенденция отражает тот же психологический архетип, связанный с нашими представлениями о высшем техническом совершенстве, что и легенда о подковавшем блоху Левше

Времена, когда сложные механические системы символизировали высшее достижение технической мысли, канули в Лету вместе с паровозами. В массовом сознании механика из любимого детища давно превратилась в презираемую падчерицу, которую принято считать слишком дорогой, капризной, шумной, массивной, недолговечной и медлительной. Обоснованность этих попреков систематически подтверждается происходящими переменами: заводные часы вытесняются электронными, арифмометры – калькуляторами; кассеты и жесткие диски – флэш-накопителями и т. д.

Почему же наше издание, почти 15 лет неослабно фокусирующееся на сводках с переднего фронта высоких технологий, публикует текст, целиком посвященный заслонкам, шатунам, пружинам и прочим, казалось бы, «пережиткам паровозного века»? Не является ли данная статья всего лишь попыткой потрафить сентиментальному пассеизму некоторой части читательской аудитории, представив ей описание тенденциозно подобранного ряда курьезных отклонений от столбовой дороги прогресса, которая, по-видимому, устремлена к напрочь лишенным движущихся частей монолитным («solid state») конструкциям?

Надо заметить, что сама постановка этих вопросов свидетельствует о распространенном предрассудке, происходящем от непонимания существенности различий между MEMS и традиционной электромеханикой. А отличия эти столь разительны, что им впору служить образцовой иллюстрацией первого закона диалектики: количественные изменения (читай, уменьшение коэффициента масштабирования механической системы) приводят к качественным скачкам – изменению многих свойств. Так что дешевизна, надежность, легкость, долговечность и высокое быстродействие, демонстрируемое описанными ниже примерами, являются не экзотическими исключениями из общего правила, а характерными свойствами MEMS.

MEMS-индустрия и ее первопроходцы

Ядро MEMS-акселерометра. В реальном масштабе ширина этой фотографии составила бы около 0,2 мм

Сегодня пальма первенства в области внедрения MEMS прочно удерживается Hewlett-Packard и Texas Instruments. Первая из них сделала MEMS основой повсеместно распространившихся технологий струйной печати, а вторая создала (и монополизировала) рынок DMD (Digital Micromirror Device) – MEMS-устройств, играющих ключевую роль в оптических трактах DLP-проекторов. В настоящее время базовые принципы этих разработок HP и TI общеизвестны и не раз освещались на страницах «Компьютерного Обозрения» (см., например, ko-online.com.ua/18723 и ko-online.com.ua/14694), и потому останавливаться на них подробнее мы не станем. Укажем лишь, что двойка лидеров далеко оторвалась от конкурентов: в 2007 г. суммарный объем произведенной ею MEMS-продукции достиг около 1,6 млрд долл., что составляет почти четверть мирового рынка.

MEMS-акселерометры

Третий по распространенности класс MEMS-устройств – микроакселерометры, без которых немыслимы современные ИТ, а также военная и автомобильная индустрии. Прогресс в области MEMS-акселерометрии – существенная предпосылка успеха таких брендов, как Wii, iPhone и MX AIR. Датчики ускорения используются, в частности, в фотокамерах (в системах оптической стабилизации изображения и определения ориентации кадра) и жестких дисках ноутбуков (в их противоударной системе, заблаговременно паркующей головки при выявлении ускорений, близких к состоянию свободного падения). Недавно в Стэнфордском университете акселерометрам последнего класса нашли альтернативное применение: любой владелец ноутбука с активной защитой HDD может примкнуть к крупнейшей в мире сейсмографической сети Quake-Catcher Network. С января сего года организаторы наладили производство внешних сейсмометров с USB-интерфейсом (цена устройства – около $50), так что теперь членство открыто всем.

Хотя в большинстве случаев показания акселерометра вычисляются как функция от электрических характеристик упругой подвески груза, этим простым принципом многообразие существующих решений отнюдь не исчерпывается. К примеру, ряд разработок основан на анализе характера рассеяния лазерного луча на дифракционной решетке, образованной перемежающимися зубьями двух зеркальных гребенок (одна из которых жестко прикреплена к подложке, а другая связана с грузом, укрепленным на мягкой подвеске). В других случаях локализация груза происходит с помощью эффекта квантового туннелирования. Существуют и такие конструкции, в которых груза в обычном понимании вовсе нет: в них посредством микроскопических термодатчиков организуется наблюдение за конвекцией газа в объеме замкнутого сосуда. Газ, поднимающийся от полисиликонового нагревателя, движется «вверх», т. е. в направлении, противоположном искомому вектору ускорения, которое испытывает система. В состоянии же невесомости конвекция отсутствует, газы разных температур свободно диффундируют, и показания термодатчиков выравниваются.

Сделаем замечание, в той или иной степени применимое ко всем MEMS-системам. Попытка реализовать описанный выше принцип в привычных нам макромасштабах вызвала бы массу технических осложнений и превратила бы устройство практически в бесполезное: такой акселерометр придется защищать от температурных неоднородностей внешней среды, а быстродействие его будет исчисляться не микросекундами, а десятками минут.

Если авторам некоторых новых разработок удастся достичь обещаемого ими увеличения точности на несколько порядков, это приведет к качественному скачку в развитии систем навигации и придаст им значительную автономность: сигналы GPS будут требоваться им лишь для периодической подстройки. Переход от традиционных GPS к инерциальным системам нового поколения упрощает ориентирование в пространстве примерно таким же образом, каким переход от солнечных часов к механическим упростил ориентирование во времени.

MEMS-микрофоны

По мнению многих экспертов, ближайшие годы ознаменуются закатом более чем полувекового господства конденсаторных микрофонов в бытовой электронике. Им на смену придут MEMS-микрофоны. Не внося новизны в принцип регистрации звука (гибкая мембрана по-прежнему играет роль обкладки конденсатора), они отличаются существенно меньшими размерами и, подобно абсолютному большинству коммерциализованных MEMS-устройств, производятся в рамках тех же технологических процессов и на той же подложке, что транзисторы и прочие элементы обслуживающей их микросхемы.

Согласно текущим прогнозам к 2012 г., т. е. спустя менее чем десять лет после появления первых серийных моделей, ими будет отвоевано около 60% мирового рынка. Этот оптимизм неудивителен, если учесть, что MEMS-микрофоны, кажется, состоят из одних достоинств: они компактны (недавно компания Akustica вывела на рынок наименьший в мире микрофон в форме параллелепипеда с габаритами 2×2×1,25 мм, akustica.com), предлагают качественно новый уровень защищенности от электромагнитных и радиопомех, а также сниженное в разы энергопотребление. Их температурные и влажностные рабочие пределы существенно расширены (для кремния 100 °С – не помеха!). Малая инерционность мембраны делает их не только ударопрочными, но и защищенными от обусловливаемых механическими вибрациями шумов. Они, как правило, содержат встроенный предусилитель, АЦП и блок сигма-дельта-модуляции, что позволяет повысить плотность интеграции проектируемого устройства. Их плоская АЧХ и высокие чувствительность и отношение сигнала к шуму прекрасно сочетаются с требованиями современных высокоскоростных VoIP-телефонных протоколов класса hi-fi. Все это делает MEMS-микрофоны предпочтительными для построения многомикрофонных решений с изменяемыми диаграммами направленности, улучшенным шумоподавлением и другими качественными преимуществами.

Недавно рынок MEMS-микрофонов, доселе занятый исключительно стартапами, пережил знаменательное событие: на нем обозначился первый крупный игрок (а именно, компания Analog Devices, обладающая неоспоримым авторитетом в родственной области MEMS-акселерометрии; см. ko-online.com.ua/node/38425 и analog.com/mic).

MEMS-дисплеи

Преимущества первого на рынке мобильного телефона с IMOD-дисплеем mirasol от Qualcomm (Hisense C108) – сверхнизкое энергопотребление и отличная видимость при ярком окружающем освещении

Кому принадлежит честь вывода на рынок первого MEMS-дисплея? Чтобы ответить на этот вопрос, необходимо прежде решить, заслуживает ли право называться механической системой взвешенное в прозрачной жидкости множество намагниченных двухцветных капсул (вариации этого принципа лежат в основе относительно давно коммерциализованной «электронной бумаги»). Большинство экспертов придерживаются на этот счет отрицательного мнения и считают электрофоретические и MEMS-технологии непересекающимися. Солидаризуясь с ними, приходится признать пионером MEMS-дисплеестроения компанию Qualcomm, чьи устройства mirasol, базирующиеся на технологии IMOD (INterferometric MODulation), нашли применение в мобильных телефонах и MP3-плеерах в прошлом году.

Так называемые трансфлективные дисплеи – наиболее универсальная из разработок такого рода: в зависимости от яркости внешнего освещения они могут работать как в экономичном режиме «электронной бумаги», так и с задней подсветкой, подобно ЖК-панелям. Чтобы не ограничиваться их избитым сравнением с чешуйками крыльев пестрых бабочек, вспомним о монотонном «шуме прибоя», издаваемом поднесенной к уху морской раковиной. Этот шум – результат трансформации внешних звуков в акустическом резонаторе. Сходным образом цвет, отражаемый субпикселом IMOD-дисплея, можно считать результатом оптического резонанса, происходящего в объеме, ограниченном парой параллельных частично прозрачных зеркал, зазор между которыми задается значением напряженности электростатического поля. «Затемнение» пикселов, достигаемое при сужении зазора, происходит за счет испускания невидимого ультрафиолетового света, темные области дисплея лишь кажутся «выключенными».

Сходный принцип положен в основу разрабатываемых Токийским университетом сверхдешевых (несколько долларов США за квадратный метр) гибких экранов, линии для производства которых будут напоминать полиграфические станки (techon.nikkeibp.co.jp/english/NEWS_EN/20081128/162004). Такие экраны предполагается использовать в качестве альтернативы бумажным плакатам в лайтбоксах, клейкому пластику (оракал) на корпусах общественного транспорта и даже оконным занавескам.

Pixtronix – стартап, созданный в 2005 г. для совершенствования цифровых микрозатворов (Digital Micro Shutter, DMS), призванных, по мысли разработчиков, составить конкуренцию традиционным ЖК- и плазменным панелям. Массив DMS (по одному затвору на пиксел) состоит из заслонок, смонтированных на TFT-субстрате и движущихся в электростатическом поле. Согласно недавним пресс-релизам фирменное устройство PerfectLight в сравнении с ЖК-дисплеями предлагает десятикратное улучшение световой проницаемости (с 6–8 до 60–80%) при относительно умеренном (четырехкратном) снижении энергопотребления. По-видимому, это несоответствие косвенно свидетельствует о значительности накладных расходов на управление массивом DMS.

В силу простоты своей конструкции микрозатворы не могут находиться в промежуточных состояниях, и потому для отображения полутонов используется метод широтно-импульсной модуляции, рассчитанный на инерционность зрительной системы человека: при достаточно быстром чередовании синих, зеленых и красных вспышек равной интенсивности, но варьируемой продолжительности, глаз перестает регистрировать мерцание и воспринимает цветовую смесь как единое целое.

MEMS-устройства Pixtronix благодаря чрезвычайно низкому отношению массы к площади поверхности в отличие от своих полноразмерных аналогов не требуют смазки и охлаждения. Потому не стоит удивляться, что интенсивная механическая нагрузка, обусловливаемая работой на высоких частотах, не является проблемой для DMS. По заявлениям представителей Pixtronix, опытные образцы затворов выдержали более 40 млрд циклов срабатывания, не обнаруживая следов износа (несложные вычисления показывают, что общий периметр пикселов Full HD-дисплея исчисляется километрами, и потому появление даже самых незначительных просветов по краям заслонок привело бы к катастрофическому ухудшению контрастности).

В настоящее время Pixtronix ведет переговоры с тайваньскими компаниями, готовыми к рискам, связанным с переориентированием своих TFT LCD-конвейеров на производство DMS (утверждается, что такая технологическая модернизация потребует минимальных затрат).

Образчик результатов процесса 3D-печати EFAB, разработанного компанией Microfabrica (microfabrica.com). В основе технологии – последовательное осаждение тончайших слоев двух металлов, один из которых на конечном этапе вытравливается. В реальном масштабе ширина этой фотографии составила бы около 2 мм

Появление технологии TMOS (Time Multiplexed Optical Shutter), с 2005 г. разрабатываемой компанией Uni-Pixel (unipixel.com), инспирировано популярными и проверенными временем устройствами для снятия отпечатков пальцев, чья работа основана на явлении так называемого нарушенного полного внутреннего отражения (Frustrated Total Internal Reflection, FTIR). Контактной площадкой в них служит фронтальная грань стеклянной пластины, по краям которой размещены источники света. Испускаемые ими фотоны попадают в толщу стекла, словно в ловушку: боковые грани пластины представляют непреодолимое препятствие, поскольку бoльшая часть их площади имеет зеркальное напыление. От прозрачных же передней и задней граней свет отражается, падая на их плоскости под субкритическими углами. Одну из немногих возможностей ускользнуть предоставляет возмущение оптических свойств стеклянной поверхности, происходящее в зонах ее контакта с дактилоскопическими бороздками. В TMOS-дисплеях роль бороздок играют MEMS-ячейки, выполненные из прозрачных упругих композитных мембран с рифленой пластиковой поверхностью. Входя под действием электростатического поля в контакт с цельностеклянной «световой ловушкой», они вызывают локальные утечки света в окружающее пространство. Эти-то утечки и воспринимает зритель в качестве светящихся пикселов.

TMOS-панели позволяют динамически оптимизировать расход энергии на заднюю подсветку. Подчеркивая созвучность этого свойства столь актуальным сегодня «зеленым» инициативам, маркетологи Uni-Pixel окрестили его «light recycling» («вторичная переработка света»). Чтобы уловить его суть, заметим, что темные части изображения, формируемые на экране любого современного дисплея, как правило, связаны с непродуктивной растратой энергии. Так, в тракте проекционных DLP-телевизоров около половины светового потока направляется к светопоглощающему экрану, в ЖК-телевизорах тратится на разогрев затемненных пикселов и т. д. В панелях же типа TMOS лучи подсветки, попадающие в темные участки изображения, многократно отражаются от внутренней поверхности стеклянной подложки и продолжают свое блуждание до встречи с одной из активных MEMS-ячеек.

Отметим, что перспективы двух последних технологий в значительной мере определяются судьбой напрямую конкурирующих с ними дисплеев на основе органических светодиодов (OLED). Если в близком будущем Sony или кому-либо еще из сторонников данной технологии удастся сделать ее существенно более доступной и долговечной, то DMS и TMOS рискуют остаться без места на рынке.

MEMS-проекторы

Сегмент GLV-элемента, соответствующий темному пикcелу

Чрезвычайно оригинальная и защищенная более чем 125 патентами идея GLV-проецирования (от Grating Light Valve, т. е. дифракционно-решетчатый оптический вентиль), разработанная Silicon Light Machines (siliconlight.com), в настоящее время лицензирована компаниями Sony и Evans & Sutherland. Ключевым элементом оптического тракта GLV-проектора служит MEMS-элемент, представляющий собой вертикально ориентированный линейный массив плоских токопроводящих пружин с зеркальной внешней поверхностью (фронтальный вид которых напоминает «зебру» пешеходного перехода). Этот массив соответствует одному столбцу изображения. В типичном случае на каждый пиксел столбца приходится по шесть пружин (следовательно, в Full HD GLV-проекторе их насчитывается ровно 6480). В выключенном состоянии все пружины находятся в одной плоскости, образуя сплошную зеркальную поверхность, перенаправляющую падающий на нее плоский пучок когерентного света на экран в виде белой вертикальной полоски. Приобретая заряд, пружины с четными номерами деформируются, притягиваясь к противоположно заряженной подложке в соответствии с законом Кулона (нечетные же пружины электрически связанны с подложкой, и потому их форма всегда остается неизменной). При приближении четных пружин к подложке на четверть длины световой волны рифленая поверхность утрачивает зеркальные свойства: отраженные от пружин разной четности волны коллапсируют, складываясь в противофазе (сходный «парадокс» имеет место на уступах дорожки CD, не отражающих считывающий лазерный луч, хотя и сделанных из зеркального материала). В этом случае свет не доходит до экрана, и он остается темным. Выборочное управление зарядами пружин предоставляет возможность устанавливать желаемую яркость каждого отдельного пиксела в столбце.

Остается добавить, что цветное изображение в рамках технологии GLV формируется за счет быстрого переключения лазеров основных цветов и что отразившийся от MEMS-элемента плоский световой пучок попадает на экран не непосредственно, а через объектив. Кроме того, между объективом и MEMS-элементом устанавливается зеркало, колеблющееся вокруг вертикальной оси с частотой, достаточной для регенерации изображения. При этом проецируемый столбец заметает поверхность кадра (в том смысле, в каком линейный фоточувствительный элемент планшетного сканера заметает поверхность сканируемого документа). Ясно, что горизонтальное разрешение изображения, получаемого таким способом, ограничено только быстродействием MEMS-элемента. Последнее же чрезвычайно высоко: частота, с которой микроскопические пружины могут менять свое состояние, исчисляется десятками мегагерц. Примечательно, что при работе на столь высоких частотах алгоритм управления пружинами приходится адаптировать к текущему состоянию атмосферы.

Несколько лет назад проекторное подразделение Sony отложило идею GLV в долгий ящик, сделав ставку на проекторы типа LCOS, поскольку на нынешнем этапе технологической конкуренции они позволяют получать более мощный световой поток. Необходимо, однако, признать, что GLV-проецирование предлагает более естественный способ получения изображения на круговых панорамных экранах, требующих высокого горизонтального разрешения. Это одна из причин, по которой компания E&S (es.com), доминирующая на таком весьма специфическом рынке, как оборудование для планетариев, продолжает оставаться сторонницей экзотических GLV-проекторов, для которых необходима нестандартная оптика и обязательно использование лазеров в качестве источника света. Не исключено, впрочем, что здесь примешаны и обстоятельства субъективного свойства, связанные с умением руководства компании по достоинству ценить изящество технических решений: ведь один из ее сооснователей – легендарный пионер интерактивной графики Айвен Сазерленд!

В предыдущем примере вместо традиционных для современных проекторов двухмерных матриц использовалась одномерная структура. Изъятие еще одной размерности приводит нас к концепции сканирующего лазерного проектора, в течение последнего десятилетия активно изучаемой множеством коммерческих и академических исследовательских подразделений (см., например, technologyreview.com/communications/17395). Его ключевым компонентом служит зеркало, колеблющееся на подвеске с двумя степенями свободы и сообщающее лазерному лучу вертикальные и горизонтальные отклонения, в результате которых на экране формируется «телевизионная развертка» (таким образом, движение лазерного луча в объеме просмотрового зала уподобляется движению электронного пучка в объеме кинескопа).

Выгоды сканирующего проецирования (которое можно считать современной инкарнацией диска Нипкова) очевидны:

• бескомпромиссная пропускная способность оптического тракта (практически весь генерируемый лазером световой поток достигает экрана);
• отсутствие объектива и, как следствие, облегчение, удешевление и упрочение конструкции, а также радикальное устранение хлопот, связанных с оптическими искажениями (что же до фокусировки, то она остается идеальной всегда – даже при использовании криволинейных экранов!);
• отличные возможности для миниатюризации, сулящие в перспективе идеальное решение для мобильных презентаций в виде полноценного проектора, вмонтированного в авторучку.

Почему построение сканирующего проектора вряд ли возможно без использования MEMS-технологий? Дело в том, что для регенерации Full HD-изображения с частотой обновления кадров 100 Гц зеркальцу придется двигаться в тысячу раз быстрее, а столь высокая скорость механических колебаний является разрушительной для любых систем, кроме микроскопических.

Вообще говоря, быстродействие механизмов стремительно растет по мере уменьшения их линейных размеров. Примером может послужить простейшая формула частоты колебаний маятника: ω = с/R^1/2, где R – длина, а с – некоторая константа, необходимая для учета ускорения свободного падения (или коэффициента жесткости материала, если речь идет не о подвесном, а о пружинном маятнике).

Исчерпав журнальную площадь (но отнюдь не тему), закончим с примерами и сделаем несколько заключительных замечаний.

Что осталось за рамками

К MEMS относят:

• оптические коммутаторы, которые можно считать зародышами будущих фотонных компьютеров. Они уже успели укрепиться на рынке оптоволоконного телекоммуникационного оборудования;
• устройства, способные динамически перестраивать электрические характеристики микрокомпонентов с целью упрощения микросхем и улучшения их экономичности;
• принципиально новый тип ОЗУ IBM Millipede (т. е. «Многоножка»), вызвавший ажиотаж после демонстрации опытного образца на CeBIT 2005 (в настоящее время этот амбициозный проект считается свернутым на неопределенный срок);
• микрозеральные панели для облицовки стен, позволяющие оптимизировать распределение света в помещениях в зависимости от местонахождения обитателей и положения солнца за окном.

Этот перечень, разумеется, не делает наш обзор существующих MEMS-технологий полным; он лишь помогает получить представление о широте их спектра.

MEMS и «Rainbow Effect»

Принцип действия разработанного в Токийском университете MEMS-конвейера, воспроизводящего работу эпителиальных мерцательных ресничек

Степень проявления «радужного эффекта» – одна из ключевых характеристик качества изображения, укореняющаяся в техническом жаргоне по мере распространения бюджетных DLP-проекторов с единственным DMD-элементом. Такие устройства, предъявляющие зрителю быстро сменяющуюся последовательность монохроматических кадров, хороши для деловых презентаций; однако у кинолюбителей они не в чести. Иногда (при резких движениях глаз) «оптический обман» вскрывается, и яркие контрастные элементы распадаются на серию ядовито-цветных вспышек. Некоторые зрители находят «радужный эффект» очень раздражающим (индивидуальная чувствительность к нему варьируется в широких пределах).

DLP – первая (и пока единственная) из достигших рынка MEMS-технологий, чреватая опасностью «радужного эффекта». Ясно, что борьба с этим специфическим артефактом требует повышения частоты переключения между основными цветами. Ясно также, что такое повышение обусловливает необходимость ускорения работы MEMS-элементов, что, в свою очередь, увеличивает расход энергии на управление ими и сокращает механический ресурс. Поэтому не исключено, что кнопка «Ecomode», которой будут оснащены будущие модели TMOS- и DMS-телевизоров и проекторов, будет воздействовать не только на яркость подсветки, но и на эффективность противодействия «радужному эффекту».

Осторожно: маркетинговая риторика!

Биомиметика и бионика (дисциплины, посвященные изучению и воспроизведению природных механизмов) часто упоминаются в посвященных MEMS-технологиям PR-материалах: маркетологи не упускают возможности лишний раз сослаться на авторитет матери-природы, доказавшей эффективность своих решений миллионами лет практики. Действительно, MEMS-акселерометры напоминают вестибулярный аппарат, дисплеи mirasol – крылья насекомых, а MEMS-конвейер профессора Хироюки Фуджита (Hiroyuki Fujita) из Токийского университета – мерцательные реснички, очищающие внутреннюю поверхность легких. Однако к любым оптимистическим прогнозам, делающимся на основании такого сходства, следует относиться с изрядной долей скепсиса. Ведь копирование природы – не самоцель. В конце концов сочетаемость высокой эффективности с отсутствием природных аналогов убедительно доказана еще изобретателем колеса.

Маркетинговое муссирование ассоциаций с нанотехнологиями (переходным этапом к которым будто бы призваны служить MEMS) также нередко грешит безответственностью. Следует, однако, признать, что реальные успехи MEMS способны послужить реабилитации приставки «нано-», изрядно скомпрометированной политиками и беллетристами.

Системы, соразмерные человеку

Почему все примеры, рассмотренные в основной части обзора, прямо или косвенно относятся к интерфейсам? Дело в том, что быстродействие MEMS-устройств на нынешнем этапе их миниатюризации часто исчисляется килогерцами. Будучи слишком низкими для вычислительных компонентов компьютерной архитектуры, такие рабочие частоты хорошо подходят для дискретизации информационных потоков, с которыми непосредственно взаимодействует человек. Поэтому задачи ввода и представления информации, вероятно, останутся определяющими для развития MEMS-технологий в ближайшей перспективе.

Ready, set, buy! Посібник для початківців - як придбати Copilot для Microsoft 365